超精密零件加工方法的特点：对外表层物质去除或添加的量能够作极细微的控制。但是要获得超精密零件加工精度，仍有赖于精密的加工设备和准确的克制系统，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版即使采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）举行曝射，昆山零部件加工，使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)，再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉，制成掩膜。电子束曝射制版必要采用工作台定位精度高达±0.01微米的超精密加工设备。
机械零件加工定做先粗后精：精基准加工好后，精密零部件加工，整个零件的加工工序，应该是粗加工工序在前，相继为半精加工、精加工及光整加工。按先粗后精的原则先加工精度要求较高的主要表面，零部件加工，即先粗加工再半精加工各主要表面，后再进行精加工和光整加工。在对重要表面精加工之前，汽车零部件加工，有时需对精基准进行修整，以利于保证重要表面的加工精度，如主轴的高精度磨削时，精磨和超精磨削前都须研磨中心孔；精密齿轮磨齿前，也要对内孔进行磨削加工。
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